Kokusai Electric QUIXACE DJ-1206VN-DF (Aldinna)

  • Автоматическая высокопроизводительная установка атомно-слоевого осаждения (вертикальная печь химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении) при групповой обработке в промышленном производстве
  • Назначение: атомно-слоевое осаждение  TiN; осаждение SiO2; осаждение  TaN
  • Патронный нагревательный элемент
  • Система управления температурой, высокая скорость понижения / повышения температуры
  • Температурный контроль: 5 термопар, контролирующих нагрев; 1 термопара, контролирующая перегрев; 5 термопар для защиты от перегрева; термопары для каскадного контроля и контроля профиля температуры
  • Пластины: ø300мм (12”)
  • Загрузка-разгрузка в FOUP-контейнерах через 2 порта до 5 кассет
  • Размер загрузки: до 125 пластин в партии
  • Высокоскоростная автоматическая система транспортировки пластин
  • Нижняя загрузка лодочки из SiC / кварца с системой вращения
  • Газовая система: газовые линий с РРГ, с нагревом барботеров и части газовых линий
  • 2 панели со схемой управления газовыми потоками: на лицевой и задней стенках
  • Применяемые газы: NH3, NF3, N2, O2, Cl2, HCl, He и прочие.
  • Сухой очищенных сжатый воздух
  • Применяемые химикаты: TiCl4, ТМА, прекурсор Та
  • Система контроля содержания кислорода
  • Модули очистки: до 4
  • Вытяжная вентиляция
  • Вакуумная система: безмасляный вакуумный насос + механический бустерный насос; система управления давлением
  • Управление с жидкокристаллического сенсорного монитора оператора основным и вспомогательным контроллером
  • Электроэнергия: 480В, 3ф, 50/60Гц; 120/208В, 1ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.