Kokusai Electric Advanced Ace-300

  • Автоматическая высокопроизводительная установка для проведения термических процессов при групповой обработке
  • Назначение: химическое осаждение из газовой фазы при пониженном давлении, оксидирование, отжиг; осаждение конформных пленок в глубоких траншеях (щелях)
  • Пластины: ø300мм
  • Функция проверки работоспособности — опционно

к списку