KLOE UV-KUB 3

  • Установка экспонирования и совмещения
  • Предназначена для экспонирования и совмещения с помощью УФ-светодиода с разрешением менее 2мкм, оборудована УФ-светодиодным источником излучения, позволяет совмещать маску размером 5” c пластиной размером до 100 мм в кубическом объеме с длиной одной стороны 47,5 см.
  • Разрешение – 2 мкм
  • Допустимый размер фотошаблона Ø 2″ или Ø 5″
  • Допустимый размер пластин от Ø 2″ до Ø 5″
  • Разрешение системы визуализации от 1,5 мкм до 3 мкм
  • Разрешение измерения расстояния пластина/фотошаблон 2 мкм
  • Разрешение смещения пластины по углу θ 5.10-4°
  • Разрешение смещения пластины по осям XYZ от 0,2 мкм до 0,4 мкм
  • Доступные длины волн 365 нм, 405 нм
  • Мощность излучения на поверхности пластины диаметром 4 дюйма 25 мВт/см2
  • Нагрев пластины в процессе облучения < 1 °С
  • Циклы инсоляции (непрерывный/прерывистый) от 1 сек до 18 часов
  • Количество циклов в памяти более 100
  • Размеры 475 х 475 х 475 мм
  • Масса 55 кг
  • Цветной сенсорный дисплей диагональ 15,6 дюймов
  • Максимальная потребляемая мощность180 Вт

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.