Heidelberg VPG+ 800; Heidelberg VPG+ 1100; Heidelberg VPG+ 1400

  • Установка безмасковой лазерной литографии
  • Импульсный УФ-диодный лазер 355 нм, до 10 мВт
  • Сменные пишущие линзы по выбору с минимальным размером элемента 0,75 мкм; 1 мкм; 2 мкм; 4 мкм
  • Максимальный размер подложки VPG+ 800:до 825 х 825 мм2
  • Максимальный размер подложки VPG+ 1100:до 1125 х 1125 мм2
  • Максимальный размер подложки VPG+ 1400:до 1425 х 1425 мм2
  • Толщина подложек до 6 мм
  • Максимальная область экспонирования VPG+ 800: 800 х 800 мм2
  • Максимальная область экспонирования VPG+ 1100: 1100 х 1100 мм2
  • Максимальная область экспонирования VPG+ 1400: 1400 х 1400 мм2
  • Минимальный размер структурного элемента 0,75 мкм
  • Минимальный размер адресной сетки 12,5 нм
  • Режимы многократного нанесения рисунка
  • Равномерность линии от 65 до 300 нм
  • Автоматическая система загрузки
  • Скорость экспонирования VPG+ 800:от 1125 до 16500 мм2/мин
  • Скорость экспонирования VPG+ 1400:от 335 до 16500 мм2/мин
  • Поддержка форматов DXF, CIF, GDSII, Gerber, STL
  • Встроенная прецизионная система поддержания микроклимата. Рекомендуемые параметры микроклимата для помещения 21 ± 1 ОС, класс чистоты ИСО 5.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.