Heidelberg DWL 66FS LDI

  • Установка лазерной литографии для НИОКР
  • Максимальный размер подложки до 200 х 200 мм2
  • Минимальный размер структурного элемента 0,6 мкм
  • Размер адресной сетки уменьшен до 50 нм
  • Режимы многократного нанесения рисунка
  • Векторный и растровый режимы экспозиции
  • Режим трехмерной экспозиции
  • Скорость обработки от 3 до 416 мм2/мин

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.