GSL-1700X-SPC-2

  • Компактная высоковакуумная установка нанесения металлических или органических пленочных покрытий методом термического испарения
  • Подложки диаметром до 2″. Ручная загрузка-выгрузка подложек
  • Система термического испарения для осаждения пленок с источником, обеспечивающим максимальный ток 40 А (рекомендуемый рабочий ток ) – <30 A
  • Вольфрамовый спиральный нагреватель с алюминиевым тиглем обеспечивают температуру до 1700ºC (стандартный диапазон – 200 ÷1500 ºC, опционно – 1200 ÷1700ºC)
  • 30-ти позиционный цифровой температурный контроллер обеспечивает точность поддержания температуры ± 1°C
  • Процессная вакуумная камера из кварцевого стекла размерами ø 6″
  • Один вращающийся держатель ø 2″ (скорость вращения – до 5 об/мин) с управляемым вручную затвором для защиты мишени
  • Подложкодержатель с регулируемой высотой от 60 до 100 мм между образцом и мишенью
  • Установка укомплектована цифровым вакуумметром и специальным фланцем и игольчатым клапаном для присоединения вакуумного насоса.
  • Опционно: различные комбинации турбовакуумных насосных систем с предельным уровнем вакуума до: 1 х 10-2 торр / 1 х 10-5 торр / 4 х 10-6 торр / 1 х 10-6 торр / 1 х 10-8 торр
  • Опционно: прецизионный измеритель толщины пленки, спектрометр для анализа пленок
  • Фитинг ¼” для подключения газового баллона и игольчатый клапан для регулировки подачи газа обеспечивают возможность продувки реактора и, при необходимости, проведение процесса химического осаждения из газовой фазы
  • Электропитание: 208÷240В, 10А, 50/60Гц, 1ф, 500Вт
  • Габариты: 440 × 330 × 630 мм
  • Вес: 50 кг

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.