GSL-1100X-SPC12-LD

  • Компактная установка плазменного напыления для нанесения покрытий металлов
  • Назначение: напыление металлических покрытий (Au, Pt, In, Ag); нанесение проводящих золотых пленок для сканирующей электронной микроскопии
  • Процессная камера из стекла размерами: ø внутр.100 мм х 130мм, уплотняющий фланец из нержавеющей стали. Ручная загрузка-выгрузка подложек
  • Подложкодержатель ø 40 мм с регулируемой высотой от 15 до 80 мм между образцом и мишенью. Время напыления: от 0 до 110 с
  • Установка укомплектована амперметром для контроля тока напыления, вакуумметром и специальным фланцем для присоединения вакуумного насоса.
  • Вакуум: двухступенчатый вакуумный роторно-лопастной насос производительностью 156 л/мин с улавливателем паров (фильтром) обеспечивает остаточный вакуум 1 х 10-2 Торр; опционно – турбовакуумный насос, обеспечивающий остаточный вакуум 1 х 10-5 Торр
  • Игольчатый клапан на лицевой панели для корректировки расхода газа
  • Мишени: 1 мишень из золота 4N ø57 мм х 0,12 мм; опционно – 1 мишень из платины 4N ø57 мм х 0,12 мм, 1 мишень из серебра ø57 мм х 0,5 мм
  • Электропитание: 208÷240В, 50/60Гц, 1ф, 1000Вт (включая вакуумный насос)
  • Габариты: 480 x 320 x 280 мм
  • Вес: 20 кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.