GSL-1100X-PECVD

  • Компактная установка плазмоактивированного химического осаждения из газовой фазы
  • Процессная камера из кварцевой трубы размерами ø 3″ х 19″ и фланцами из нержавеющей стали, один из фланцев размещен на подвижных полозьях для удобства загрузки-разгрузки образцов; образец может быть помещен в нагреваемую обмотку
  • Обмоточный нагреватель размером ø 50 мм х 70 мм с защитной (для снижения тепловых потерь) кварцевой трубкой с внутр. ø 2″ х 75 мм обеспечивает нагрев образца до 400°C и крепится к подвижному фланцу
  • 30-ти позиционный цифровой температурный контроллер обеспечивает точность поддержания температуры ± 1°C
  • Загрузка: кассета-лодочка из сверхчистого алюминия размером 50 х 20 х 20 мм для размещения образцов
  • Двухканальный контроллер (340 x 300 x 180 мм; 6,35 кг) управления газовыми потоками: 2 поплавковых расходомера с диапазоном от10 до 100 мл/мин; механический манометр; вакуумные игольчатые клапаны из нержавеющей стали; три вводных фитинга для ¼” трубы (из нейлона или нержавеющей стали)
  • Источник плазмы: RF-генератор 13,5 МГц, 7,2Вт / 10,5Вт / 18Вт
  • Предельный уровень вакуума в камере: до 1 х 10-2 торр. Установка укомплектована цифровым вакуумметром и специальным фланцем и игольчатым клапаном для присоединения вакуумного насоса.
  • Двухступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос производительностью 226 л/мин (110В)
  • Наличие соединения типа Swagelok ¼” для подключения рабочего газа (N2, Ar, воздух, смеси газов) с игольчатым клапаном
  • Ручная загрузка-выгрузка подложек
  • Электропитание: генератор плазмы – 230В, 50/60Гц, < 100Вт; нагреватель – 220В, 500Вт
  • Габариты: генератор плазмы – 8,5″ x 10″ x 8″; перемещаемая стойка – 600 x 600 x 600 (1000 – с генератором) мм; температурный контроллер – 4″ x 10″ x 8″
  • Вес: нетто- 31,75 кг (включая вакуумный насос)

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.