FHR FLA-100-DL

  • Лабораторная установка импульсного отжига (БТП)
  • Подложки до Ø4″, с адаптером – Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы, возможна другая геометрия образцов
  • Предподогрев до 800°C, максимальный нагрев – 1500°C
  • Изменение температуры – до 50°K/сек
  • Рабочее давление: от 5х10-6 мбар до атмосферного
  • Газы: Ar; c контроллером массового расхода
  • 9 импульсных ламп диапазона 400 – 800 нм с рефлекторами
  • Однородность температуры подложки 1,5%

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.