FHR Anlagenbau

FHR Anlagenbau GmbH основана в 1991 году в Германии. Компания специализируется на разработке и производстве технологического оборудования и материалов для полупроводниковой и фотоэлектрической промышленности, включая:

  • Технологические решения для тонкоплёночных процессов;
  • Технологическое оборудование процессов PVD, PECVD, ALD;
  • Функциональные покрытия для изделий микроэлектроники, фотовольтаики, оптики и др.

Сегодня компания FHR Anlagenbau GmbH входит в состав CENTROTHERM GROUP.

Технологическое оборудование:

Импульсный отжиг


FHR FLA-100

  • Установка импульсного отжига (БТП – формирование сверхмелких переходов, обработка гетероэпитаксиальных слоев, производство солнечных элементов)
  • Подложки до Ø4″, с адаптером – Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы 20х30мм толщиной до 1мм
  • Предподогрев 700 – 1100°C, максимальный нагрев – 2000°C
  • Изменение температуры – до 100°K/сек

далее


FHR FLA-100-DL

  • Лабораторная установка импульсного отжига (БТП)
  • Подложки до Ø4″, с адаптером – Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы, возможна другая геометрия образцов
  • Предподогрев до 800°C, максимальный нагрев – 1500°C
  • Изменение температуры – до 50°K/сек

далее


FHR MS 120- FLA

  • Модульная установка (для включения в состав кластерной) импульсного отжига (БТП)
  • Подложки до Ø120мм, с адаптером – Ø4″, Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы, возможна другая геометрия образцов
  • Предподогрев до 800°C, максимальный нагрев – 1400°C
  • Изменение температуры – до 50°K/сек

далее


FHR FLA 200-A

  • Установка импульсного отжига (БТП)
  • Подложки до Ø8″, с адаптером – Ø4″, Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы, возможна другая геометрия образцов
  • Предподогрев до 800°C, максимальный нагрев – 1500°C
  • Изменение температуры – до 80°K/сек

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.