FHR-Star300BOX

  • Установка предназначена для нанесения металлов на различные поверхности
  • Объем загрузки: до 24 подложек размером 60×48 мм
  • Ручная загрузка-выгрузка подложек через дверь в фронтальной части установки
  • Рабочая камера из нержавеющей стали диаметром 800 мм
  • Вращающийся барабан для равномерного нанесения слоёв
  • Источники DC-напыления: стандартно 4 катода распыления (опционно – до 8 источников размером 300 х 90 мм)
  • Скорость нанесения металлов: Au – до 200 нм/мин, Ni – до 50 нм/мин
  • Опционно – источник травления
  • Различные уровни доступа: администратор, оператор, сервис
  • Управление процессом на платформе Windows (графический интерфейс)
  • Электроэнергия: 380 В, 50 кВт, 50 Гц, 3ф, 140 А
  • Охлаждающая вода: 20 л/мин, 5 ÷ 6 бар, 20 ÷ 25°C
  • Безмасляный, очищенный и осушенный сжатый воздух давлением 6 бар
  • Процессные газы: аргон (Ar), азот (N2)
  • Требуется система вентиляции для отвода отработанных газов, выхлопа вакуумных насосов
  • Габариты: 1600 х 1600 х 2000 мм
  • Вес: 2000 кг
  • Удельное давление на пол: 650 кг/м2

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.