FHR.Star.300 (PVD)

  • Многоцелевая кластерная установка для создания в условиях вакуума тонкопленочных функциональных покрытий (проводящих, изолирующих, барьерных, адгезионных, оптических) на пластинах (подложках) в полупроводниковой промышленности, производстве МЭМС, солнечных элементов и датчиков, микроэлектронике, оптоэлектронике, оптике (НИОКР или мелкосерийное производство)
  • Может содержать до 6 модулей, связанных между собой вакуумным перегрузчиком: загрузки-разгрузки (2), плазмостимулированного (PE) или реактивно-ионного (RIE) травления, магнетронного напыления (DC или RF способ), термического или электронно-лучевого испарения, плазмоактивированного химического осаждения из газовой фазы (PECVD), атомно-слоевого осаждения (ALD), быстрого лампового отжига (FLA), быстрых термических процессов (RTP) – конфигурация по заданию заказчика
  • Размер подложек: диаметром от 50 до 200 мм, толщиной до 15мм
  • Температурный контроль подложки и держателя
  • Возможность обработки тяжелых подложек (до 15 кг)
  • Для напыления используются мишени диаметром от50 до 300 мм
  • Пригодна для установки в чистой комнате или с расположением зоны загрузки в чистой комнате
  • Источники напыления: FHR.SC300-DC или другой модели
  • Источники травления: FHR.SC200-RF или другой модели
  • Предельное остаточное давление: 5 x 10-7 мбар
  • Управление процессом полностью автоматизировано
  • Энергоносители: электроэнергия, охлаждающая вода, сжатый воздух, процессные газы: аргон (Ar), азот (N2), кислород (О2)
  • Габариты: 3220 х 4200 х 2080 мм
  • Вес: 6321 кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.