FHR MS120-FLA

  • Модуль ультракороткого импульсного отжига в условиях вакуума или в среде рабочего газа для кластерной установки
  • Размер подложек: пластины диаметром до 120 мм, с использованием адаптера: 4”, 3”, 2”, а также подложки прямоугольной или иной формы
  • Подложкодержатель: хромоникелевая кассета с кварцевыми фиксаторами
  • Роботизированное устройство перемещения пластин
  • Количество импульсных ламп: 15 шт. со специальным рефлектором
  • Длительность импульса лампового отжига: 10 мсек, 6 мсек, 3 мсек, 1,6 мсек
  • Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
  • Энергетическая плотность потока: до 30 Дж/см2
  • Электрическая мощность (20 мсек): 3,1 МВт
  • Блок предподогрева электрической мощностью 12 кВт обеспечивает температурный диапазон до 800°C, однородность температуры по поверхности подложки 1,5%, максимальную скорость нагрева 50 К/сек; точность поддержания температуры ±1% контролируется пирометром при компьютерном управлении процессом
  • Инертный газ: аргон (Ar), через регулятор массового расхода
  • Рабочее давление: от 1 х 10-5 мбар до 2,5 х 10-1 мбар
  • Габариты: 1500 х 880 х 810 мм (без конденсаторного блока)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.