FHR MS 120- FLA

  • Модульная установка (для включения в состав кластерной) импульсного отжига (БТП)
  • Подложки до Ø120мм, с адаптером – Ø4″, Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы, возможна другая геометрия образцов
  • Предподогрев до 800°C, максимальный нагрев – 1400°C
  • Изменение температуры – до 50°K/сек
  • Рабочее давление: от 1х10-5 мбар до 2,5х10-1 мбар
  • Газы: Ar; c контроллером массового расхода
  • 15 импульсных ламп диапазона 400 – 800 нм с рефлекторами
  • Однородность температуры подложки 1,5%

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.