FHR.Micro.160-FLA

  • Лабораторная установка ультракороткого импульсного отжига в условиях вакуума или в среде рабочего газа для полупроводникового производства, оптики, МЭМС
  • Применение: восстановление поверхности, отжиг пластиков (низкотемпературных материалов), сушка фотолаков и пленочных покрытий, уплотнение пленочных покрытий, изменение параметров пленок
  • Подложкодержатель с фиксаторами для подложек диаметром до 100 мм (опционно – 250 мм)
  • Количество импульсных ламп: 8 шт.
  • Количество ламповых цепей: 4 шт.
  • Длительность импульса лампового отжига от 0,8 до 20 мсек (в зависимости от конденсаторных блоков)
  • Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
  • 4 конденсаторных блока
  • Энергетическая плотность потока: до 80 Дж/см2
  • Электрическая мощность (20 мсек): 2,5 МВт
  • Система предподогрева: нагрев подложки до 800°C
  • Максимальная температура поверхности: до 1500°C
  • Управление процессом в ручном режиме
  • Рабочая камера из алюминия

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.