FHR.Flash.50-Module

  • Модуль ультракороткого импульсного отжига в условиях вакуума или в среде рабочего газа
  • Применение: отжиг и плавление материалов в миллисекундном диапазоне
  • Подложкодержатель для подложек диаметром до 100 мм (опционно – 250 мм)
  • Количество импульсных ламп: 8 шт.
  • Количество ламповых цепей: 4 шт.
  • Длительность импульса лампового отжига от 0,8 до 20 мсек
  • Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
  • Энергетическая плотность потока: до 80 Дж/см2
  • Электрическая мощность (20 мсек): 2,5 МВт
  • Максимальная температура поверхности: до 1500°C (зависит от свойств материала подложки и температуры предподогрева)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.