FHR FLA 200-A

  • Установка импульсного отжига (БТП)
  • Подложки до Ø8″, с адаптером – Ø4″, Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы, возможна другая геометрия образцов
  • Предподогрев до 800°C, максимальный нагрев – 1500°C
  • Изменение температуры – до 80°K/сек
  • Рабочее давление: атмосферное
  • Газы: Ar, N2, O2; c контроллерами массового расхода
  • 8 импульсных ламп диапазона 400 – 800 нм с рефлекторами
  • Однородность температуры подложки 1,5%

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.