FHR FLA 100

  • Установка импульсного отжига в условиях вакуума и среде рабочего газа с максимальной температурой процесса до 2000°C
  • Размер подложек: пластины диаметром 4”, с использованием адаптера – 3”, 2”, а также подложки прямоугольной (20 х 30 мм, толщиной до 1 мм) или иной формы
  • Подложкодержатель: кварцевая шайба с кварцевыми фиксаторами
  • Горизонтальное перемещение подложкодержателя с использованием носителя с магнитным приводом
  • Количество импульсных ламп: 8 шт со специальным рефлектором
  • Длительность импульса лампового отжига: 20 мсек, 10 мсек, 3 мсек, 0,8 мсек
  • Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
  • Энергетическая плотность потока: до 120 Дж/см2
  • Электрическая мощность (20 мсек): 10 МВт
  • Максимально достижимая температура: до 2000°C
  • Блок предподогрева электрической мощностью 20 кВт обеспечивает температурный диапазон 700÷1100°C, однородность температуры по поверхности подложки 1,5%, максимальную скорость нагрева 100 К/сек (температура до 700°C); точность поддержания температуры ±1% контролируется пирометром при компьютерном управлении процессом; время выдержки – 10÷60 сек при 1100°C, 10 сек ÷ 5 мин при 800°C
  • Используемые газы: аргон (Ar), азот (N2), кислород (O2), через регуляторы массового расхода
  • Рабочее давление: от 1 х 10-5 мбар до 2,5 х 10-1 мбар
  • Габариты: 2140 х 960 х 1280 мм (процессный блок), 1700 х 510 х 800 мм (блок энергоснабжения и управления), 1700 х 1600 х 1000 мм (конденсаторный блок)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.