FHR FLA 100-DL

  • Составная лабораторная установка импульсного отжига в условиях вакуума и среде рабочего газа
  • Размер подложек: пластины диаметром 4”, с использованием адаптера – 3”, 2”, а также подложки прямоугольной или иной формы
  • Подложкодержатель: хромоникелевая кассета с кварцевыми фиксаторами
  • Герметизированное витоном устройство перемещения пластин
  • Количество импульсных ламп: 9 шт. со специальным рефлектором
  • Длительность импульса лампового отжига: 20 мсек, 3 мсек
  • Длина импульсной волны: 400 ÷ 800 нм
  • Энергетическая плотность потока: до 80 Дж/см2
  • Электрическая мощность (20 мсек): 3,6 МВт
  • Максимально достижимая температура: до 1500°C
  • Блок предподогрева электрической мощностью 8 кВт обеспечивает температурный диапазон до 800°C, однородность температуры по поверхности подложки 1,5%, максимальную скорость нагрева 50 К/сек; точность поддержания температуры ±1% контролируется пирометром при компьютерном управлении процессом
  • Инертный газ: аргон (Ar), через регулятор массового расхода
  • Рабочее давление: от 1 х 10-5 мбар до атмосферного давления
  • Габариты: 1600 х 1500 х 3000 мм

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.