FHR.Boxx.400-PVD

  • Однокамерная установка магнетронного напыления на различные подложки с предподготовкой поверхности (плазменное травление) для мелкосерийного производства датчиков, МЭМС, оптических изделий
  • Максимальный размер подложки:  диаметром 150 мм или 156 x 156 мм
  • Объем групповой загрузки: до 24 пластин размером 4″, до 12 подложек размером 6″
  • Ручная загрузка-выгрузка подложек через дверь в фронтальной части установки на вращающийся барабан (опционно – через загрузочный шлюз)
  • Вращающийся барабан для равномерного нанесения слоёв
  • Опционно: два барабана для размещения подложек, а также для их нагрева
  • При вращении барабана подложки перемещаются мимо различных источников напыления и травления, обеспечивающих нанесение необходимых слоев
  • Источники напыления: FHR.SR400-DC или FHR.SR400-RF
  • Источник травления: FHR.IEC420-RF
  • Количество технологических устройств: до 8
  • Управление процессом программируемым логическим контроллером
  • Предельное остаточное давление: 5 x 10-7 мбар
  • Опционно: система реактивно-ионного травления
  • Возможно размещение в чистой комнате всей установки, либо только зоны загрузки
  • Габариты: 3760 х 2950 х 2500 мм
  • Вес: 2550 кг
Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.