Evatec HEXAGON (PVD/ICP)

  • Кластерная промышленная установка напыления на одиночные пластины для многоуровневой сборки, металлизация обратной стороны пластин, дегазаци и мягкого травления ИСП
  • Подложки ø200 или ø300 мм
  • Температура подложкодержателя контролируется в диапазоне от -30°C до 300°C
  • Кластер содержит до 5 процессных модулей и до 4 загрузочных модулей
  • Модули загрузки с загрузочными портами для 300 мм FOUP или открытых кассет для 200 мм пластин
  • Встроенное устройство для совмещения пластины и станция переворота пластины для металлизации обратной стороны пластины
  • Высокая скорость дегазации, травления и осаждения металлов
  • Буферная станция на объем до 12 пластин
  • Роботизированная система SCARA с двухсторонними манипуляторами
  • Модуль мягкого ИСП-травления позволяет обеспечить скорость удаления SiO2 (0,6÷0,8) нм/сек
  • Охлаждение камары ИСП реактора до -30°C
  • Площадь размещения кластера: 4200 x 3700 мм

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.