Diener electronic Tetra 15 LF-PC

  • Специальная плазменная установка для распыления (нанесения покрытий в высоком вакууме), а также для очистки с целью подготовки сверхчистых поверхностей
  • Вакуумируемая прямоугольная камера объемом 15 литров и размерами 360 х 150 х 260 мм
  • Управление: компьютерное (на базе Windows) с промышленной интерфейсной шиной
  • Подвод технологического газа через контроллеры массового расхода, 2 газовых линии
  • Источники плазмы: 2 источника по 40 кГц (опционно — 13,56  МГц или 2,45  ГГц)
  • Вакуумная система с различной производительностью в зависимости от версии установки
  • Электропитание: 400В, 3ф, или 230В, 1ф
  • Габариты: 600 х 1700 х 800 мм

к списку