Diener electronic Tetra 100 PC/PCCE

  • Плазменная установка для мелкосерийного производства, МЭМС, электронной микроскопии, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских, солнечных технологиях, биотехнологии, НИОКР, археологических исследований и пр.
  • Назначение: плазменная очистка
  • Вакуумируемая камера объемом от 80 до 100 литров в зависимости от варианта:

– цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 400 мм и длиной 625 мм с открывающейся дверкой;

– прямоугольная из нержавеющей стали 400 х 625 х 400 мм с открывающейся дверкой;

  • Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод с распылителем газов
  • Управление, варианты : компьютерное (на базе Windows CE); компьютерное (на базе Windows POS Ready 2009)
  • Подвод технологического газа через контроллеры массового расхода
  • Устройство загрузки (опционно – с водяным охлаждением): лодочка из кварцевого стекла; вращающийся роторный барабан для сыпучих материалов; вращающийся роторный барабан для подложек; поддоны из алюминия, нержавеющей стали, боросиликатного стекла, кварцевого стекла
  • Источники плазмы: от 0 до 1000Вт либо от 0 до 1500Вт либо от 0 до 2500Вт, 40 кГц; от 0 до 300Вт либо от 0 до 600Вт  либо от 0 до 1000Вт, 13,56  МГц; от 0 до 1200Вт, 2,45  ГГц
  • Форвакуумный роторный насос с различной производительностью (не менее 40 м3/ч) в зависимости от версии установки (при необходимости укомплектовывается  фильтром с активированным углем)
  • Электропитание: 400В, 3ф, 16А 
  • Габариты: 1000 х 1800 х 1000 мм (для примера – один из вариантов)
  • Дополнительные опции по запросу: комплекты запасных частей, приборы для измерения давления, модификация для работы с коррозионными газами, газовые баллоны, редуктор давления, нагреваемая плита, система температурного контроля, нагреваемая камера, камера Фарадея, принадлежности для плазменной полимеризации, тестовые чернила, кислородный генератор, медленная вентиляция, медленная откачка, держатель ПЭМ-образца, техническое/сервисное обслуживание, документация на языке страны, в которую осуществляется поставка, установка на месте, включая обучение
  • Вес: 200 ÷ 300 кг (без насоса)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.