Corial 400L

  • Установка реактивно-ионного травления
  • Ручная загрузка через роботизированный вакуумный загрузочный шлюз: подложки 14″ х 14″
  • Для травления применяются химические соединения фтора и хлора
  • Применяется для травления: металлов, полимеров и Si соединений
  • 400-мм подложкодержатель (электрод), гелиевое охлаждение обратной стороны подложкодержателя
  • Система нагрева/охлаждения (-50 до +150°C)
  • Газовый шкаф с 5 контроллерами массового расхода,  максимально до 8 газовых линий (варианты газов  – O2, CHF3, SF6, Cl2, BCl3)
  • Источники плазмы: RF – до 2000Вт, 13,56 МГц
  • Форвакуумный безмасляный насос 95 м3/ч, турбомолекулярный насос  1600 л/с, комплект клапанов для продувки реактора без остановки турбомолекулярного насоса
  • Промышленный компьютер для управления процессом

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.