Corial 300IL

  • Установка травления индуктивно-связанной плазмой /  реактивно-ионного травления для НИОКР и мелкосерийного производства
  • Ручная загрузка через вакуумный загрузочный шлюз с роботизированным электромагнитным приводом:  до 19 x 2”, до 7 x 4”, до 3 x 6”, до 1 – Ø300мм
  • Для травления применяются химические соединения хлора
  • Применяется для травления: GaN, сапфира
  • Производительность установки: до 25000 пластин диаметром 2” в месяц
  • 350-мм подложкодержатель (электрод), нагреваемая вакуумируемая камера
  • Система нагрева/охлаждения (-50 до +150°C)
  • Газовый шкаф с 5 контроллерами массового расхода: максимально до 8 газовых линий (варианты газов  – O2, N2, CHF3, H2, Cl2, BCl3)
  • Источники плазмы: RF – 600Вт, 13,56 МГц; ICP-RIE – 2000Вт, 2 МГц
  • Форвакуумный безмасляный насос 95 м3/ч, турбомолекулярный насос  1600 л/с, комплект клапанов для продувки реактора без остановки турбомолекулярного насоса
  • Промышленный компьютер для управления процессом

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.