Corial 200I

  • Установка реактивно-ионного травления и травления индуктивно связанной плазмой для НИОКР и аналитических лабораторий
  • Для травления применяются химические соединения фтора и кислорода
  • Применяется для травления: кремния и кремнийсодержащих соединений (SiO2, Si3N4); полимеров (полиметилметакрилата, полиимида, бензоциклобутена, фоторезиста); металлов (Ti, TiN, TiW, W, Ta, TaN, Nb, Mo и других) 
  • Подложки/пластины различных размеров (например: 7 х 2”) вплоть до1 х 8”
  • Малое время вакуумирования (менее 3 минут) и очистки реактора (менее 20 минут)
  • 220-мм подложкодержатель (электрод), цифровые регуляторы массового расхода,  до 8 газовых каналов (например: CHF3, SF6, O2, C2H4, Ar)
  • Источники плазмы: RIE – 300Вт, 13,56 МГц; ICP – 1000 Вт, 2 МГц
  • Форвакуумный безмасляный насос 95 м3/ч, турбомолекулярный насос 500 л/с, наличие затворного клапана для выгрузки/загрузки образцов без остановки турбомолекулярного насоса и автоматической системы контроля давления с дроссельной заслонкой

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.