AnnealSys AS-Micro

  • Лабораторная установка для БТП (БТ отжиг, имплантационный отжиг, отжиг п/п соединений, кристаллизация, спекание)
  • Диапазон температур – до 1250°C
  • Изменение температуры – до 250°C/сек
  • Подложки до Ø3″
  • До 3 процессных и 1 продувочная газовые линии
  • Вакуумирование до 10-6 Торр

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.