AnnealSys

Технологическое оборудование:

  • Отжиг, окисление, диффузия
  • Нитридирование, силицидирование, кристаллизация

Химическое осаждение из газовой фазы

AnnealSys AS-Micro

  • Лабораторная установка для БТП (БТ отжиг, имплантационный отжиг, отжиг п/п соединений, кристаллизация, спекание)
  • Диапазон температур – до 1250°C
  • Изменение температуры – до 250°C/сек
  • Подложки до Ø3″

далее


AnnealSys AS-One

  • Печь для БТП (БТ отжиг, окисление, диффузия, отжиг п/п соединений, нитридирование, силицидирование, кристаллизация, спекание)
  • Диапазон температур – до 1250°C
  • Изменение температуры – до 200°C/сек (4″)/ до150°C/сек (6″)
  • Размер подложки –  Ø4″ или Ø6″

далее


AnnealSys AS-Master

  • Универсальная установка для БТП/БТ ХОГФ (БТ отжиг, окисление; отжиг SiC контактов, карбонизация, отжиг п/п соединений; ХОГФ: поликремний, SiO2, SiNx)
  • Диапазон температур – до 1400°C
  • Изменение температуры – до 200°C/сек
  • Размер подложки – до Ø200 мм или 200 х 200 мм

далее


AnnealSys SprayCVD-050

  • Лабораторная установка для ХОГФ распылением (ХОГФ распылением, БТ отжиг, имплантационный отжиг, отжиг п/п соединений, кристаллизация, спекание)
  • Диапазон температур – до 1200°C
  • Размер подложки – до 2″ х 2″
  • До 3 процессных и 1 продувочная газовые линии

далее


AnnealSys LC100

  • Печь ХОГФ НД для НИОКР (ненапряженный обогащенный кремнием нитрид, ХОГФ НД, отжиг, окисление)
  • Диапазон температур – от 500 до 1100°C
  • Размер подложки – Ø4″
  • До 12 процессных и 1 продувочная газовые линии

далее


AnnealSys MC050

  • Установка для НИОКР для МО ХОГФ и ХОГФ распылением (гетероэпитаксия оксидов на монокристаллические подложки – МО ХОГФ, возможность ХОГФ распылением, а также отжига в камере осаждения)
  • Диапазон температур – до 1200°C
  • Размер подложки –  Ø2″
  • До 6 процессных и 1 продувочная газовые линии

далее


AnnealSys MC100

  • Установка для НИОКР для МО ХОГФ (гетероэпитаксия оксидов на монокристаллические подложки – МО ХОГФ, возможность ХОГФ распылением)
  • Диапазон температур – до 850°C
  • Размер подложки –  Ø4″
  • До 6 процессных и 1 продувочная газовые линии

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.