AnnealSys AS-Master

  • Универсальная установка для БТП/БТ ХОГФ (БТ отжиг, окисление; отжиг SiC контактов, карбонизация, отжиг п/п соединений; ХОГФ: поликремний, SiO2, SiNx)
  • Диапазон температур – до 1400°C
  • Изменение температуры – до 200°C/сек
  • Размер подложки – до Ø200 мм или 200 х 200 мм
  • До 6 процессных и 1 продувочная газовые линии
  • Вакуумирование до 10-7 Торр

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.