AIXTRON 200/4 RF-S MOCVD

  • НИОКР установка мос-гидридной эпитаксии для роста полупроводниковых соединений А3В5
  • Применение: материалы на основе GaN
  • Горизонтальный реактор из кварца или нержавеющей стали
  • Загрузка: 1×2″
  • Температура роста: до 1200°C. Диапазон может быть расширен при применении специальных конструкционных материалов
  • Используется для производства УФ светодиодов

к списку