ACCRETECH UF2000

Измерительная установка – зондовая станция:

  • Электрические измерения в полупроводниковой промышленности
  • Пластины от 5″ до 8″
  • Передача коробления и сверхтонкой пластины с помощью специального механизма передачи. СРМС передача с помощью специального механизма
  • Функция проверки и автоматического выравнивания иглы
  • Общая точность ±1.5 мкм
  • Зона измерений по X-Y осям ± 120мм. Зона измерений по оси Z: 47мм
  • X ось 250мм/сек, Y ось 200мм/сек, Z ось 30мм/сек
  • Диапазон вращения по оси θ составляет ±5°
  • Hard Disk 20GB, Дисплей 12,1″, Принтер, Джойстик, Датчик перемещения
  • Напряжение 100В, 50/60Гц. Максимальная нагрузка 1,3 кВА
  • Сжатый воздух до 0,45МПа, расход 0,1 л/пластина
  • Вакуум  -53кПа, расход 30 л/мин
  • Габариты 1142 (Ш) х 1229 (Д) × 933 (H) мм.
  • Вес 800кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.