ACCRETECH UF190R, ACCRETECH UF200R

Измерительные установки – зондовые станции:

  • Электрические измерения в полупроводниковой промышленности
  • UF190R: Пластины 100-200мм, UF200R: Пластины 125-200мм
  • Передача коробления и сверхтонкой пластины с помощью специального механизма передачи. СРМС передача с помощью специального механизма
  • Функция проверки и автоматического выравнивания иглы  
  • Общая точность: 10 мкм для UF190R; 4 мкм для UF200R
  • Зона измерений по X-Y осям ± 120мм
  • Зона измерений по оси Z: 37мм для UF190R; 69мм для UF200R
  • X ось 300мм/сек, Y ось 300мм/сек, Z ось 30мм/сек
  • Диапазон вращения по оси θ составляет ±5°
  • Hard Disk 20GB, Дисплей 12,1″, Принтер, Джойстик, Датчик перемещения
  • Напряжение 100В, 50/60Гц. Максимальная нагрузка 1,3 кВА
  • Сжатый воздух до 0,4МПа, расход 0,1 л/пластина
  • Вакуум  -53кПа, расход 30 л/мин
  • Габариты 1092 (Ш) х 1115 (Д) × 887 (H) мм.
  • Вес 800кг

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.