TEMPRESS TS-Series POCl3 DIF

  • 4независимых реакторов
  • 1600 подложек в час
  • Предустановленные техпроцессы
  • Полная автоматизация смены кассеты
  • Автоматическоий контроль поддержания давления для стабильного и повторяемого процесса
  • Жизненный цикл более 10 лет
  • Удобное программное обеспечение для управления позволяет пользователям изменять и контролировать технологические рецепты процессов и самостоятельно разрабатывать свои собственные стандарты производства
  • Доступ к базе данных Tempress о диффузионных процессах, начиная от устойчивого образования эмиттеров для массового производства солнечных элементов p-типа до низколегированных излучателей для advanced cell концепции и др
  • Максимальное время безотказной работы и низкая стоимость владения вместе с отличным сервисом и поддержкой обеспечивают долгосрочное успешное использование

к списку