SAMCO PC-5000(PE)

• Автоматическая установка прямой плазменной очистки с большой рабочей камерой для НИОКР и производства
• Назначение: очистка крупноразмерных подложек или партий небольших изделий; очистка поверхности пластиковых корпусов и выводных рамок;  очистка поверхности стеклянных подложек; прецезионная очистка оптических компонентов и матриц; озоление фоторезиста; очистка поверхности органических пленок; удаление органических загрязнений
• Подложки: до (80х250) мм или (500х500) мм
• Ручная или кассетная загрузка
• Источник ВЧ: до 600/1000/3000Вт, 13,56МГц
• Газовая система: до 4 газовых линии с РРГ, продувочный азот
• Применяемые газы: CF₄, O₂, Ar, N₂ и прочие
• Вакуумная система: форвакуумный насос
• Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение до 100 технологических программ, протоколирование данных. Возможность ручного управления
• Электроэнергия: 3ф
• Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см²
• Азот: на установку и на безмасляные насосы
• Вытяжная вентиляция от  насоса
• Опционно: система загрузки/разгрузки кассет

к списку