TNSC BMC MOCVD

  • Установки осаждения металлорганических соединений из газовой фазы
  • Система BMC для массового производства
  • Для широкого спектра полупроводниковых материалов, оптических приборов, LDs, LED, FETs, идеально для GaAs / IP
  • Кассеты для пластин:  42 х 2″ ～ 6 х 6″
  • Стабилизация параметров нагрева
  • Опция высокой температуры (HT)
  • Тип реактора: BMC — ротационный
  • Пластины: лицевой стороной вниз

к списку