Установка для спрей-обработки в растворителе RAMOS SST

  • Удаление резиста
  • Удаление полимера
  • Очистка подложек
  • Проявление
  • Взрывная» литография

Конфигурация

  1. Корпус установки. Материал корпуса — полипропилен (PP) В зависимости от требований заказчика может быть несколько рабочих камер в одном корпусе. Размеры (ШхВхГ) приблизительно: 1000x2400x1800 мм Возможны индивидуальные модификации. Возможно наличие внешнего электрического шкафа для лучшего доступа к зоне обслуживания.
  2. Рабочая камера. Материал исполнения – нержавеющая сталь Стандартные кассеты для полупроводниковых пластин диаметром от 2” до 8”. Сменные держатели кассет (с низким или защитным профилями) в одном роторе. Ротор со скоростью вращения 1-1800 об/мин до 1-25 сбалансированной загрузки пластины Система трубопроводов из нержавеющей стали и перфторалкокси (PFA) Подключение для подачи: рабочих веществ, горячей/холодной ДИ воды (маленький и большой потоки), горячего/комнатной температуры азота
  3. Емкости для подачи реагента. Изготовлены из различных химически стойких материалов в зависимости от реагентов. Состоят из резервуара и крышки. Объем емкостей так же может быть различным. Есть возможность нагрева реагента до заданной пользователем температуры. Питание резервуаров от центральной системы подачи химических реактивов с аналоговым датчиками уровня или от рабочей камеры Дополнительное оптическое измерение уровня с помощью байпаса, который установлен снаружи резервуара Защита от сухого прогона и датчик переполнения Герметизированный резервуар для газа и жидкости. Для открытия не требуется отсоединение резервуара от трубок Интегрированные функции очистки и рециркуляции для перемешивания реагента. Модуль фильтрации с разъемом для фильтра (химический фильтрующий элемент обеспечивается Заказчиком) При использовании функции нагрева реагента сама емкость охлаждается с помощью охлаждающего змеевика внутри резервуара. N2 продувка

Общее оборудование:

  • Вытяжная система. Вытяжная система резервуаров и технологических камер подключается к испарителю, охлаждающую воду к нему обеспечивает Заказчик.
  • Система трубопроводов и технология процесса. Все детали, контактирующие с реагнетом, изготовлены из высококачественных материалов (например, нержавеющая сталь, перфторалкокси (PFA), политетрафторэтилен (PTFE)) и подходят для обработки полупроводниковых подложек. Скорость потока во время процесса составляет не менее 30 литров в минуту. Все трубопроводы, фильтры и насосы будут откалиброваны соответствующим образом. Смешивание различных используемых химических реагентов можно минимизировать посредством специально разработанной RamOS-концепции. Для циркуляции используются высокочистые центробежные насосы.

Управление системой:

Система управления (на базе ПК с Windows 2000 (минимум), с лицензионным программным обеспечением)

Программирование машины осуществляется с помощью Simatic S7, визуализация — WinCC Flexible

Сенсорный монитор на передней панели машины.

Машина управляется и контролируется с помощью центрального процессора Siemens.

Весь процесс контроля, управления и диагностики системы выполняется центральным процессором (CPU)

Программное обеспечение

  • Три уровня доступа с различным паролем защиты
    • Уровень “Оператор” позволяет выбрать рецепты и запустить процессы
    • Уровень “Процесс” с дополнительной возможностью редактирования рецептов
    • Уровень “Техническое Обслуживание” для целей обслуживания и сервиса
  • Рецепты могут содержать по меньшей мере 20 программных шагов
  • Возможность сохранения по меньшей мере 200 рецептов
  • Опциональная система считывания штрих-кода
  • Опциональный SECS/GEM интерфейс

Используя экран сенсорной панели можно наблюдать рабочее состояние установки. С помощью него можно контролировать, управлять, редактировать состояние системы и процессов обработки.

С помощью областей ввода и полей вывода можно наблюдать и контролировать параметры установки. Для того чтобы предотвратить несанкционированный доступ к установке, определенные кнопки и параметры защищены пользовательскими уровнями.

Для целей контроля доступа реализовано управление пользователями с иерархическими уровнями.

Для активации защищенной функции уровня пользователя, необходимо войти в систему с корректной учетной записью пользователя.

Предварительные настройки уровней пользователя следующие:

  • Техническое обслуживание для Ramgraber GmbH (Service for Ramgraber GmbH)
  • Инженер (Engineer)
  • Техническое обслуживание (Maintenance)
  • Оператор (Operator)

Программное обеспечение включает:

  • Цифровые блок-схемы программ
  • Multiple хранение рецептов
  • Простой процесс управления на английском языке
  • Все необходимые таймеры, регулируемые программным обеспечением
  • Шаги процесса и периодичность
  • Программируемая координация рецептов
  • Температуры резервуара
  • Также TP обеспечивает прямой доступ к клапанам, и ко всем цифровым входам и выходам

Предупреждения

При разблокировки сигнализации будет активирован звуковой сигнал и будет светиться кнопка «RESET».

Автоматически на сенсорной панели будет показано сообщение об ошибке. Сообщение дает информацию о текущих неполадках установки. Текст сигнала неисправности можно увидеть на сенсорной панели.

После устранения причины неисправности и нажатия кнопки «ACK», система будет возвращена в исходное состояние.

Если срок сообщения об ошибке истек, оно будет сохранено в памяти и установка будет работать в действующем режиме.

На экране отображаются все положения датчика и команды оператора. Неактивные компоненты показаны белыми значками. Активные компоненты отображаются черными значками.

Сигналы индикаторной лампочки сообщают обслуживающему персоналу о различных состояниях системы. Аварийные действия выполняются в соответствии со стандартами поставщика.

Каждая обнаруженная неполадка и предупреждение будут сохранены во внутренней базе данных. Индикатор аварийных сигналов позволяет получить доступ к подробной информации о предупреждении.

Режим обслуживания

В режиме обслуживания можно индивидуально управлять одинарными клапанами и агрегатами. Защитные блокировки сохраняют силу. Здесь также может быть выполнена диагностика ошибок и разрешающие действия.

Интерфейс для внешних сигналов

2 независимых контакта (выхода):

Аварийная остановка, Остановка оборудования, Отключение электропитания

Утечка реактивов

Возможны дополнительные сигналы

Управление рецептами

Здесь можно создавать, редактировать и сохранять различные рецепты. Каждый рецепт может иметь несколько шагов. Здесь также можно настроить основные параметры.

Подключение к SECS/GEM-интерфейсу

Эта опция может быть предложена после спецификации интерфейса.

к списку