Ramgraber Vermögensverwaltung GmbH & Co.

Система с ручным управлением

  • В современной микроэлектронике, широко применяются групповые обработки в ваннах с различными реагентами и последующей отмывке в деионизованной воде. Без этих операций не обойдется ни лаборатория, ни производство. Благодаря модульности и продуманной конструкции эти системы могут комплектоваться любым количеством и типом ванн, такими как:
  • Ванна химической обработки (очистка)
  • Ванна химической обработки (травление)
  • Стоп-ванна

далее


Модель TIGER

  • установка сконструирована в виде вытяжного шкафа с вытяжным патрубком и регулируемым вытяжным воздушным клапаном
  • возможность обработки пластин диметром 200 мм в стандартной кассете
  • простота обслуживания
  • оптимальные размеры

далее


Модель DEGLUE STAR

  • Полностью автоматическая система для предварительной очистки и очистки от клея после резки Si слитков
  • Сначала все Si-слитки проходят предварительную очистку, затем клеящее вещество между слитком и держателем удаляется посредством химического/термического процесса.
  • Приблизительная производительность 2 слитка/час
  • Параллельная обработка 2-х слитков

далее


Полуавтоматическая система EMMA

  • Эта полуавтоматическая система с минимальными габаритами оборудована двумя ванными и обеспечивает в одной ванне обработку в химических реагентах и ополаскивание в другой ванне. Установка так же имеет интегрированный модуль переноса, который позволяет переместить кассету с пластинами из одной ванны в другую за очень короткое время (меньше чем 2 секунды). Благодаря контролю и регулированию всех важных параметров процесса обработки заказчик может получить самые превосходные результаты. А сочетание высокой функциональности и небольших габаритов делает эту модель незаменимой для лабораторий и «пилотных» производств.

Особенности:

  • Короткое время перемещения (менее 2 секунд) между модулями
  • Воспроизводимый процесс

далее


Установка для обработки отдельной пластины SPIN ETCH

  • Для некоторых приложений метод обработки в химических реактивах, окунанием в ванне не подходит, так является для этих случаев «грубым». Установка для обработки отдельных пластин предоставляет пользователем проводить очистку и травление для одной пластины с точным позиционированием автоматической руки и насадок с веществами находящихся на ней над образцом.

Такой метод применяется для:

  • контурного травления
  • прецизионного удаления остатков загрязнения
  • прецизионного удаления остатков резиста

далее


Установка для спрей-обработки в кислоте RAMOS SAT

  • FEOL и BEOL очистка
  • Травление металлов: Al, AlSi, AlSiCu, Cu и т.д.
  • Все процессы с озоном
  • Удаление резиста

далее


Установка для спрей-обработки в растворителе RAMOS SST

  • Удаление резиста
  • Удаление полимера
  • Очистка подложек
  • Проявление
  • Взрывная» литография

далее


Система ополаскивания и сушки SRD

  • Ополаскивание и сушка пластин диаметром до 12″ и подложек размером до 7х7″
  • Стандартные и специализированные роторы-держатели для специальных требований Заказчика – простая и быстрая замена
  • Обогрев резервуара технологического барабана. Технологическая камера из электрополированной нержавеющей стали.
  • Возможность нагрева азота

далее


Система жидкостной химической обработки с установкой ополаскивания и сушки

  • Автономный корпус из высококачественной стали
  • Установка сконструирована в виде вытяжного шкафа с патрубком для вытяжки и регулируемым воздушным клапаном
  • Опционально столешница может быть изготовлена из PP, PVC, PVDF или высококачественной стали
  • Возможность встраивания всех интегрируемых компонентов RAMGRABER

далее


Оборудование для IPA сушки

  • Ополаскивание и сушка гидрофильных и гидрофобных пластин и подложек
  • Подходит для 1×8″ кассеты или 2×6″ кассет
  • Ненапряженная сушка без возникновения пятен
  • Минимизированное IPA потребление

далее


Система очистки кварцевых труб QUARTZ TUBE CLEANER

  • Система горизонтальной очистки кварцевых труб
  • Система вертикальной очистки кварцевых труб
  • Система горизонтальной очистки внутренней поверхности кварцевых труб
  • В случае системы горизонтальной очистки, кварцевые трубы размещаются горизонтально и травятся при вращении. Равномерное травление обеспечивается благодаря плавной регулировке поворотного устройства

далее


Автоматическая система очистки поликристаллических кусков кремния CHUNK STAR

  • Удаление органических и металлических загрязнений с поверхности поликристаллических кусков кремния
  • Транспортировка образцов в специальных контейнерах через процесс жидкостной химической очистки
  • Во время процесса образцы проходят через различные этапы травления и ополаскивания. После этого образцы сушатся
  • Автоматизированная система управления технологическим процессом, состоящая из SPS устройства и промышленного ПК

далее


Система конвейерной очистки пластин кремния INLINE STAR

  • INLINE STAR ® это система очистки для производства, а так же для научных исследований и разработок
  • Аккуратная транспортировка поли-и моно-кристаллических пластин с помощью конвейерной системе высокого уровня, что обеспечивает низкую степень поломки
  • Модульная конструкция системы
  • Низкое потребление реагентов и высокая производительность

далее


Ручная система электрохимической металлизации PLATER

  • Не смотря на небольшой корпус и относительно малый объем ванн, установка обеспечивает гибкость и варьирование параметров процесса, таких как ток, напряжение, температура и т.д., все изменения можно сохранить в соответствующих рецептах
  • Подложкодержатель, технология экранирования, поток электролита к подложке, подготовка электролита и т.д. – для каждого из этих параметров RAMGRABER может предложить индивидуальное решение, что обеспечит реализации именно Вашей технологии
  • Благодаря многочисленным проектам в области химического осаждения никеля, золота и т.д. и тесному сотрудничеству с ведущими научно-исследовательскими институтами компания имеет огромный опыт в данной области
  • Материал – полипропилен (PP)

далее


Ручная система электролиза PLATER

  • Гибкая реализация идей Заказчика и надежная технология электрохимического осаждения
  • Огромный опыт компании RAMGRABER благодаря многочисленным проектам в области химического осаждения никеля, золота и т.д. и тесному сотрудничеству с ведущими научно-исследовательскими институтами
  • Подходит для обработки:

2×6″ кассет с 25 пластинами или

2×8″ кассет с 25 пластинами или

1×12″ кассет с 13 пластинами

далее


Автоматическая система электрохимической металлизации PLATING STAR

  • Вы можете использовать эту систему как для небольшого количества образцов, так и для промышленного объема и получать превосходные результаты с высокой производительностью
  • Выпрямитель, технологическая и транспортная системы контролируются PLC. Варьирование параметров процесса, таких как ток, напряжение, температура и т.д.
  • RAMGRABER разрабатывает и изготавливает подложкодержатели под подложки и требования Заказчика
  • Система транспортировки обеспечивает оптимизированное по времени перемещение подложкодержателя через все выбранные процессы

далее


Автоматическая система электролиза PLATING STAR

  • Формирование столбиковых выводов из никеля
  • Для 2″ и 8″ пластин в кассете
  • От «мини»-автоматизированного оборудования с 2 или более станциями до производственного оборудования с любым количеством станций
  • Доступны ручная и полуавтоматическая конфигурации

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.