Система с ручным управлением

В современной микроэлектронике, широко применяются групповые обработки в ваннах с различными реагентами и последующей отмывке в деионизованной воде. Без этих операций не обойдется ни лаборатория, ни производство. Благодаря модульности и продуманной конструкции эти системы могут комплектоваться любым количеством и типом ванн, такими как:

• Ванна химической обработки (очистка)
• Ванна химической обработки (травление)
• Стоп-ванна
• Ванна финишной промывки
• Ванна каскадной промывки
• Ванна для промывки с мегазвуком

Процессы обработки в каждой ванне тщательно контролируются, и пользователь имеет возможность задавать различные параметры, на пример: температуру, время нагрева и охлаждения, время работы, давление подаваемого реагента, проводимость сливаемой воды для контроля качества очистки и т.д.

Модули могут поставляться как в виде встраиваемых систем, так и виде вытяжного шкафа. Это позволяет заказчику разместить на ограниченном пространстве лаборатории все необходимое.

Особенности:

• Автономные модули с различным конфигурациями
• Модульная конструкция обеспечивает максимальную гибкость и удовлетворяет любым требованиям Заказчика
• Компактность
• Простота и удобство обслуживания
• Несколько сменных модулей

Опции:

• Любое количество дополнительных модулей
• Конфигурация по запросу

к списку