Система конвейерной очистки пластин кремния INLINE STAR

Операция очистки полупроводниковых пластин может проводиться десятки раз в течение всего технологического цикла производства, как полупроводниковых пластин, так и приборов на их основе. Очистка производиться химическими методами путем окунания в жидкие реагенты. Автоматизация этого этапа технологии позволяет повысить производительность и обеспечить высокую безопасность работы персонала.

Особенности:

• INLINE STAR ® это система очистки для производства, а так же для научных исследований и разработок
• Аккуратная транспортировка поли-и моно-кристаллических пластин с помощью конвейерной системе высокого уровня, что обеспечивает низкую степень поломки
• Модульная конструкция системы
• Низкое потребление реагентов и высокая производительность
• Реализация новых идей или оптимизация уже существующих процессов
• Исследование и тестирование новых технологий решений с помощью тестовых систем RAMGRABER
• Однородные результаты очистки
• Простота и удобство в обслуживании и очистке

Опции:

• Приемный резервуар для горячей ДИ-воды
• Выпускной датчик
• Сбор данных процесса

к списку