MTI VTC-16-D(PVD)

• Компактная настольная установка плазменного магнетронного напыления покрытий постоянным током с золотой мишенью для нанесения покрытий благородных металлов
• Назначение: магнетронное напыление металлических покрытий (Au, Pt, Ag); напыление проводящих золотых слоев на образцах для сканирующей электронной микроскопии
• Регулируемый по высоте подложкодержатель
• Напряжение на источнике постоянного тока системы напыления — 500В; сила тока регулируется от 0 до 50 мА (цифровой миллиамперметр); время напыления регулируется от 1 до 120 с
• Процессная камера из кварца размерами: ø167 мм х 150мм
• Подложкодержатель ø2” с регулируемой высотой от 30 до 80 мм между образцом и мишенью
• 2″ источник магнетронного напыления с управляемым вручную затвором для защиты мишени
• Предельный уровень вакуума в камере: 1 Па. Установка укомплектована цифровым вакуумметром и специальным фланцем для присоединения вакуумного насоса.
• Опционно: двухступенчатый вакуумный центробежный лопастной насос производительностью 8/9,6 м³/ч (220В, 50/60Гц, 1ф, 0,4/0,37кВт) либо компактный турбовакуумный насос
• Наличие соединения типа Swagelok ¼” для подключения инертного газа из баллона, вентиль на лицевой панели для корректировки расхода газа
• Ручная загрузка-выгрузка подложек
• Мишени: 1 мишень из золота (4N) ø2”(50 мм) х 0,12 мм; опционно – мишень из платины (4N) ø50 мм х 0,12 мм, мишень из серебра (4N) ø50 мм х 0,5 мм
• Электропитание: 220В, 50/60Гц, 1ф, 200Вт (1000В – с учетом вакуумного насоса)
• Габариты: установки — 460 x 330 x 520 мм,  упаковочные полные — 45″ x 45″ x 40″
• Вес: нетто- 20 кг, брутто – 36,3 кг

к списку