TEL ALPHA-8S

  • Установка термической обработки для кремниевых пластин до 200 мм.
  • Максимально увеличивая эффективность и производительность за счет постоянного совершенствования, в результате ALPHA-8S является новым стандартом на рынке вертикальных печей.
  • Система обеспечивает широкий спектр технологических применений, таких как влажное / сухое окисление, отжиг, LPCVD из Si, Si3N4 и SiO2.
  • Доступны различные типы UGK (Up Grade Kit), которые включают контроллер графического интерфейса пользователя и другие опции для повышения его производительности и продления срока службы продукта.
ALPHA-8SE ALPHA-8S
Размер пластины (мм) 100, 150, 200150, 200
Доступностьб/уб/у
ПроцессыOxide, Anneal, Nitrade, Poly, TEOS, HTO, High-k Oxide, Anneal, Nitrade, Poly, TEOS, HTO
РеакторThermalThermal
ТемператураRT-1250C RT-1250C
Дополнительные опцииN2,/LL, Gas cleaning:
CIF3 for poly 		N2/LL, Gas cleaning:
CIF3 for poly

к списку