SVCS SVpFUR-RD PECVD

Горизонтальные PECVD печи для НИОКР и ОП
Печь для БТП Печь для БТП (Нитрид кремния (включая антиотражающее SiN покрытие солнечных элементов), Оксид кремния, Оксинитрид)
Рабочая зона до 300мм
Диапазон температур — до 1200°C
Количество зон: 3 или 5
До 4 кварцевых реакторов для различных процессов
Развитая система водяного охлаждения позволяет снизить взаимное температурное влияние между реакторами
Бесконтактная, полностью автоматическая система загрузки лодочек в реактор (консольная или с мягкой посадкой)
Размер подложки — Ø 150мм, 200мм, 300мм

Обратная связь