ATV PEO-601

• Экономия пространства благодаря небольшому размеру
• Экономия энергии до нулевого потребления в режиме ожидания при нормальных условиях
• Макс 40 пластин/ за процесс
• До 100мм
• Легко заменяемая кварцевая оснастка
• Температурный режим:

Нагрев до 1.000 ° C в течение 15 минут

Охлаждение до <100 ° C менее чем за 60 минут

• Диапазон температур от 150 ° С до 1.100 ° С
• Низкотемпературная обработка с газовым подогревом
• Предельный вакуум <5 х 10-1 мбар
• Скорость утечки: <5 х 10-8 мбар л / с
• O2 <5 ppm
• 100 шагов / программа

Solid Source Diffusion, Wet/Dry Oxidation, SiAl/SiAu/SiMo alloying;

Annealing: Inert/Atmosphere

Polyimide, Curing/Baking

LTCC Sintering, Thick film paste sintering

к списку