ATV Technologie

С 1982 года ATV производит мультизадачные печи быстрой термической обработки серии PEO с одинарной кварцевой трубой. Первоначально данные системы разрабатывались для процессов отжига. Однако к настоящему времени печи серии PEO позволяют реализовывать множество процессов, и компания ATV постоянно расширяет функционал. ATV успешно применяет свою серию PEO и в сегменте рынка полупроводников.

Технологическое оборудование:

  • Диффузионные и LPCVD печи

ATV PEO-601

  • Экономия пространства благодаря небольшому размеру
  • Экономия энергии до нулевого потребления в режиме ожидания при нормальных условиях
  • Макс 40 пластин/ за процесс
  • До 100мм

далее


ATV PEO-603/4

  • Экономия пространства благодаря небольшому размеру
  • Экономия энергии до нулевого потребления в режиме ожидания при нормальных условиях
  • Макс 40 пластин/ за процесс
  • До 200мм

далее


ATV PEO-604

  • Экономия пространства благодаря небольшому размеру
  • Экономия энергии до нулевого потребления в режиме ожидания при нормальных условиях
  • Макс 40 пластин/ за процесс
  • До 200мм

далее

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.