TEL UNITY II (RIE)

• Автоматическая многокамерная  установка реактивно-ионного травления с  шлюзовой загрузкой для производства
• Назначение: травление оксидов, диэлектриков, поликремния
• Процессные камеры: 2 (возможно 3)
• Загрузка в открытых кассетах
• Роботизированное устройство перемещения пластин
• Несколько конфигураций процессных камер (PE, DRM, ATC, IEM, SCCM) для обеспечения различных видов обработки
• Пластины: ø8”
• Оптическая система ориентации пластин
• Керамический электростатический подложкодержатель с гелиевым охлаждением
• Источники плазмы: (0÷1000)Вт, 13,56МГц, с системой автоматического согласования
• Газовая система: до 12 газовых линий с РРГ на каждую процессную камеру
• Применяемые газы: C₃F₈, C₅F₈, C₄F₈, C₄F₆, CF₄, CHF₃, CH₃F, CH₂F₂, SF₆, Cl₂, CO, HBr, Ar, O₂, He, N₂ и прочие;расход процессных газов — (3÷60) л/ч при  (0,7÷2) бар
• Система управления: компьютерная с сенсорным экраном; система управления температурой
• Температурный контроллер, чиллер
• Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
• Газовый скруббер, вытяжная вентиляция
• Оборотная охлаждающая вода: (3÷5,2) бар
• Азот: (2÷7,5) бар
• Очищенный сжатый воздух: (6÷8) бар
• Электроэнергия: 208В, 250А, 3ф, 50/60Гц
• Габариты: установки — (3275×1960х2340) мм (без вакуумных насосов, чиллера, скруббера, контроллеров)
• Вес: установки — 3700 кг (без вакуумных насосов, чиллера, скруббера, контроллеров)

к списку