SAMCO RIE-800iPB (ICP)

• Автоматическая установка высокоскоростного глубокого травления кремния индуктивно-связанной плазмой с  загрузочным блоком для НИОКР и пилотного производства
• Назначение: производство МЭМС (акселерометров, гироскопов, актюаторов и пр.); создание переходных отверстий в кремнии при производстве 3D-интегрированных структур (травление отверстий в пластинах глубиной до 600 мкм); производство датчиков; возможность проведения Бош-процессов; резка кремниевых пластин на чипы; производство головок струйных принтеров; производство медицинских приборов (системы полного микроанализа и пр.) 
• Рабочая камера: из алюминия, внутренний ø440мм
• Загрузочная камера: алюминиевая, (340х445)мм . Загрузка пластин ручная
• Перемещение пластин: линейным вакуумным автоматическим манипулятором
• Пластины:  до ø8”, оперативное управление температурой пластины за счет гелиевого охлаждения обратной стороны 
• Электроды: ИСП –электрод (верхний) — High-density ICP Plasma, нижний –электрод с подложкодержателем
• Подложкодержатель: ø208мм, алюминиевый,  электростатический захват, гелиевое охлаждение
• Источник ИСП: 3000Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Источника смещения – 500Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
• Газовая система: 6 газовых линий с РРГ, продувочный азот, гелий
• Применяемые газы: CHF₃, C₄F₈, CF₄, SF₆, O₂, Ar, Hе, N₂  и прочие
• Вакуумная система: для рабочей камеры — турбомолекулярный насос и безмасляный форвакуумный насос, автоматическое управление давлением; для загрузочной камеры — безмасляный форвакуумный насос
• Контроль вакуума: в рабочей камере — ионизационый вакуумметр (13÷10^-6) Па; мембранный вакуумметр (33,3÷33,3х10^-3) Па; в загрузочной камере – кристаллический вакуумметр (1х10⁵÷1х10^-2) Па
• Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ, протоколирование данных
• Электроэнергия: 200В, 3ф, 60А
• Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см²
• Азот: на установку — 1 кг/см², на безмасляные насосы — (2÷10) кг/см²
• Охлаждающая вода: установка — 8 л/мин, насосы — 2 х 3 л/мин
• Вытяжная вентиляция от  насосов
• Габариты: (1000x1700x1800) мм
• Опционно: система оповещения окончания процесса по интерферометру; комплект оснастки для обработки пластин различных размеров; вентиляция из газового шкафа; система подачи импульсов для предотвращения образования бороздок на поверхности при травлении структур «кремний на изоляторе»; комплект оснастки для травления SiO₂

к списку