SAMCO RIE-200C

• Полностью автоматическая установка реактивно-ионного травления с кассетным загрузчным блоком для серийного производства
• Назначение: высококачественное анизотропное травление кремниевых пленок для приборов ультравысокой степени интеграции, а также всех прочих типов кремниевых пленок; травление пленок тугоплавких металлов; травление органических покрытий, озоление фоторезиста и формирование контактных окон; производство оптических волноводов; микромеханическое производство; производство различных типов датчиков; производство приборов на базе подложки кристалла
• Рабочая камера: алюминиевая; смотровое окно ø40мм для визуального контроля
• Загрузочный шлюз: одно или двухкассетный, алюминиевый
• Перемещение пластин: двухманипуляторный атмосферный робот с вакуумным захватом и системой позиционирования
• Пластины:  ø5”, ø6”, ø8”
• Электроды: верхний — алюминиевый с антикоррозионным покрытием электрод ø240мм с распылителем газа, нижний – из нержавеющей стали с антикоррозионным покрытием электрод-подложкодержатель ø240мм  и с жидкостным охлаждением; фиксированный зазор между электродами
• ВЧ-генератор: 300Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
• Газовая система: 3 газовые линии процессных газов с РРГ давлением 1 кг/см², продувочный азот с давлением 1 кг/см²
• Применяемые газы: CF₄, CHF₃, SF₆, O₂, Ar, N₂
• Вакуумная система: турбонасос 200л/сек и роторный форвакуумный насос 250л/мин
• Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления
• Электроэнергия: 200В, 3ф
• Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см²
• Охлаждающая вода: давление — (3÷5) кг/см²
• Габариты: (750x1770x1600) мм
• Окончание процесса: по оптическому интерферометру
• Опционно: до 6 дополнительных газовых линий, система оповещения окончания процесса, скруббер для очистки выхлопного газа, вакумные насосы

к списку