SAMCO RIE-1C

• Лабораторная полуавтоматическая настольная установка реактивно-ионного травления  с открытой загрузкой для НИОКР и анализа отказов ИС
• Назначение: вскрытие пассивирующих материалов, включая нитрид кремния, диоксид кремния, оксинитрид кремния; травление диэлектрика между слоями металла с контролем профиля; удаление остатков герметизирующих материалов на интегральных схемах для анализа отказов; вскрытие фоторезиста и полиимида; травление кремния, поликремния, тугоплавких металлов, силицидов металлов, нанесенного центрифугированием стекла и пр.
• Рабочая камера: ø210мм х 62мм, кварц
• Загрузка ручная, открытая
• Подложки:  пластины до 4” – 1ш. или несколько образцов или корпусированные приборы, опционно – пластина 6”
• Электроды: верхний алюминиевый электрод ø140мм с распылителем газа, нижний алюминиевый электрод-подложкодержатель ø120мм с жидкостным охлаждением
• Обработка по одной пластине или нескольких образцов или корпусированных приборов
• ВЧ-генератор: 200Вт, 13,56МГц
• Газовая система: 2 газовые линии процессных газов с давлением 1 кг/см², продувочный азот с давлением 1 кг/см² и расходом 10 л/мин 
• Применяемые газы: CF₄, O₂, N₂
• Вакуумная система: роторный насос 250л/мин, одна точка подключения с выхлопным патрубком для роторного насоса NW25, вакуумметр Pirani (10^-3÷10) Торр
• Система управления: Запуск процесса «одной кнопкой» после установки программы процесса – включается насос установки, начинается подача газа, включается ВЧ-генератор и вентиляция реактора, срабатывает замок крышки реактора для обеспечения безопасности персонала и защиты установки
• Вытяжная вентиляция: для выхлопа форвакуумного насоса (от рабочей камеры) для обеспечения безопасности персонала  
• Электроэнергия: 220В, 50Гц, 3кВт
• Охлаждающая вода: давление — (2÷3) кг/см², расход – (1÷2) л/мин
• Габариты: установка — (400x440x325) мм, насосный блок — (430x620x800) мм
• Опционно: различные ВЧ-генераторы и вакумные насосы

к списку