SAMCO RIE-10iP (ICP)

• Полностью автоматическая установка травления индуктивно-связанной плазмой с открытой загрузкой для НИОКР и анализа отказов ИС
• Назначение: анизотропное травление SiO₂, Si₃N₄; травление органических материалов  и диэлектриков
• Загрузка ручная, открытая
• Подложки:  пластины до 4” или несколько образцов или приборов
• Подложкодержатель с жидкостным охлаждением и поддержанием температуры (20÷250)°С
• Механический зажим с гелиевым охлаждением обратной стороны
• Источник ИСП: до 1000Вт, 13,56МГц, тип — Tornado ICP, с автоматическим согласованием сопротивления. Мощность источника смещения – до 300Вт
• Рабочее давление: 10^-5 Па
• Газовая система: встроенный шкаф подачи газа, до 6 газовых линий
• Применяемые газы: CF₄, CHF₃, C₄F₈, SF₆, O₂, Ar, N₂
• Вакуумная система с симметричным вакуумированием: турбомолекулярный насос и роторный форвакуумный насос
• Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручного управления
• Окончание процесса: визуально, либо по оптическому интерферометру

к списку