Pinnacle

Установки ионнолучевого травления и осаждения представляют из себя однокамерные модули с реакторами ионнолучевого травления или осаждения, объединяющие в одном кластере от одного до трех модулей травления, осаждения или комбинации модулей травления и осаждения
Высокая производительность за счет ионных источников большой площади и усовершенствованной системы перемещения
Квалифицированы для применения в 200-мм производстве. Предназначена для обработки 200-мм пластин, 150-мм пластин и 9,5” ячеек, может модифицироваться для обработки 300-мм пластин
Карусельное устройство позволяет закрепить до 6 мишеней
Скорость затвора — 0,7 секунды

Обратная связь